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Q. PECVD 산화막 증착 공정
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안녕하세요! PECVD 질화막의 경우에는 Si-H 결합과 N-H 결합으로 박막의 밀도를 추론할 수 있다고 알고 있습니다. 혹시 PECVD 산화막의 경우에는 어떤 결합으로 박막의 밀도를 추론하는지 아시는 분 계실까요?? PECVD 공정을 담당하는 현직자분들 답변 부탁드리겠습니다..!
2025.01.13
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