전공 · 모든 회사 / 모든 직무

Q. PECVD 산화막 증착 공정

jjmmj

안녕하세요! PECVD 질화막의 경우에는 Si-H 결합과 N-H 결합으로 박막의 밀도를 추론할 수 있다고 알고 있습니다. 혹시 PECVD 산화막의 경우에는 어떤 결합으로 박막의 밀도를 추론하는지 아시는 분 계실까요?? PECVD 공정을 담당하는 현직자분들 답변 부탁드리겠습니다..!


2025.01.13

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

함께 읽은 질문

  • Q.
    Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
     
     

  • Q.
    Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
     
     

  • Q.
    Lorem ipsum dolor sit amet, consectet
     
     

궁금증이 남았나요?
빠르게 질문하세요.